周濠をめぐらせた前方後円墳で全長が140m, 後円部径72m, 前方部107mで墳丘は3段築成。明日香村内では最大級。
　欽明天皇は539年から23年間にわたり帝位に就き、571年4月に崩御、9月に檜隈坂合陵に埋葬されたとある。欽明天皇の時代、仏教伝来により後の飛鳥文化の基礎が築かれた。612年、蘇我馬子が妹であり欽明天皇の妃である堅塩媛を欽明天皇陵に合葬した。また､『日本書紀』には､620年10月、砂礫を檜隈陵の上に葺き、土を積みて山を成し、氏ごとに大柱を土の山の上に建てさせるという記事がみえる。