1651(慶安4)年、近江膳所城主石川忠総の7男の石川総氏によって築かれた。総氏は、父の死去に伴い遺領の内3000石を相続して旗本に列し、後に1000石を上野,下野国内で加増された。2代の総昌は所領をすべて三河額田加茂郡内に集約させ4000石を領し、石川氏の陣屋は明治時代まで存続した。　
　現在、陣屋跡は下山保育園の敷地となっているが、南側に当時の石垣がよく残されている。